자료실
각종 고정도 공정장비용 스테이지에 활용.
다양한 고객 요구 사양에 따른 맞춤 설계 제공.
■ 특장점
▶ 고강성 ▶ 고가반하중 ▶ 고정도
■ 주요사양
▶ Glass size (G2~G8) ▶ 진직도 (±10㎛) ▶ 반복정밀도