▶ 동일 평면상의 X-Y이송및 θ(회전)운동이 가능한 스테이지
▶ 한 면에 3~4개의 어셈블리(Ball Screw, Lm Guide, Cross Roller Bearing) 사용하여 규격화
▶ 상부 테이블의 다양화로 고객이 원하는 UNIT 표준화
▶ 반도체 장비, 디스플레이 장비, 검사 장비에 활용 가능
▶ PCB 기판 제조장비, 검사 장비에 활용 가능
▶ 탈 부착이 용이하여 부품화 설계가 가능