■ 특장점
▶ 동일 평면상의 X-Y이송및 θ(회전)운동이 가능한 스테이지
▶ 한 면에 3~4개의 어셈블리(Ball Screw, Lm Guide, Cross Roller Bearing) 사용하여 규격화
▶ 상부 테이블의 다양화로 고객이 원하는 UNIT 표준화
▶ 반도체 장비, 디스플레이 장비, 검사 장비에 활용 가능
▶ PCB 기판 제조장비, 검사 장비에 활용 가능
▶ 탈 부착이 용이하여 부품화 설계가 가능
■ 주요사양
Input Motor | Ball Screw | LM Guide | Cross Roller Bearing | Motor | Pay Load |
UPS-DS-100X100-X4-S | 0802 | CROSS ROLLE | CB2008UU | 50W | 15kg |
UPS-DS-200X200-X4-S | 0802 | #9 | CRBF 108 | 100W | 30kg |
UPS-DS-300X300-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-360X360-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-380X380-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-400X400-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-550X550-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-750X750-X4-S | 1402 | #15 | CS42UU | 100W | 60kg |
UPS-DS-1000X1000-X4-S | 2005 | #20 | CB5013 | 400W | 100kg |
UPS-DS-1500X1500-X4-S | 2005 | #20 | CB5013 | 400W | 100kg |