■ 특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ Fiber Sensor를 이용하여 Wafer Notch 정렬
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
■ 주요사양
Wafer Size |
300mm |
Detect Sensor |
Fiber Sensor (Notch Detect) |
Centering Accuracy |
±0.1mm |
Rotating Accuracy |
±0.1deg |
Wafer Holding |
Edge Grip |
Weight |
Approx. 7kg |