■ 특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ SEMI Standard 준수
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
■ 주요사양
Processing Object |
12inch FOUP (SEMI Standard) |
Door Open |
Horizontal Direction |
Door Elevation |
Ball Screw Drive (Stepping Motor) |
Sensor |
FOUP Placement POUP Presence Wafer Protrusion Pinch Wafer Mapping |
Option |
RFID Sensor PIO Sensor |
Weight |
Approx. 65kg |