■ 특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ 다양한 조합의 핸드
구성
▶ 표준테이블을 통한
설계편의성 제공
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
■ 주요사양
D.O.F |
3 Axis (Single Arm) |
Rotating Dia. |
Φ475mm (Standard Type) |
Repeatability |
±0.1mm |
Wafer Size |
300mm |
Gripper |
Edge Grip / Vacuum Grip / Pocket Grip |
Sensor |
Wafer Presence Detection Sensor Wafer Abnormal Settling Detection Sensor |
Weight |
Approx. 35kg |