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[ URM-S4210-300-AV ] URM-S4210-300-AV

■ 특장점

▶ 구조해석을 통한 고강성 설계

           ▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한 사이즈 구현
   ▶ 다양한 조합의 핸드 구성
           ▶ 표준테이블을 통한 설계편의성 제공
           ▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능

■ 주요사양

D.O.F	4 Axis (Single Arm)
Rotating Dia.	Φ520mm (Standard Type)
Repeatability	±0.1mm
Wafer Size	300mm
Gripper	Vacuum Grip / Pocket Grip
Sensor	Wafer Presence Detection Sensor Wafer Abnormal Settling Detection Sensor
Weight	Approx. 40kg