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[ ULF-AST ] ULF-AST

■  특장점

 

           ▶  구조해석을 통한 고강성 설계

           ▶  설계 최적화를 통해 컴팩트한 사이즈 구현
           ▶ 
SEMI Standard 준수

           ▶  고객 Needs에 따른 특주 대응 가능

 

 

■  주요사양

 

Processing Object

12inch FOUP (SEMI Standard)

Door Open

Horizontal Direction

Door Elevation

Ball Screw Drive (Stepping Motor)

Sensor

FOUP Placement

POUP Presence

Wafer Protrusion

Pinch

Wafer Mapping

Option

RFID Sensor

PIO Sensor

Weight

Approx. 65kg