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특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ SEMI Standard 준수
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
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주요사양
Processing
Object
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12inch
FOUP (SEMI Standard)
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Door
Open
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Horizontal
Direction
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Door
Elevation
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Ball
Screw Drive (Stepping Motor)
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Sensor
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FOUP
Placement
POUP
Presence
Wafer
Protrusion
Pinch
Wafer
Mapping
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Option
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RFID Sensor
PIO
Sensor
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Weight
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Approx.
65kg
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