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[ UAC-812-A ] UAC-812-A

■  특장점

 

           ▶  구조해석을 통한 고강성 설계

           ▶  설계 최적화를 통해 컴팩트한 사이즈 구현
           ▶  전용
CCD Sensor를 이용한 Wafer 정렬

           ▶  고객 Needs에 따른 특주 대응 가능

 

 

■  주요사양

 

Wafer Size

200mm & 300mm

Detect Sensor

Line CCD Sensor

Eccentricity

Within ±5mm

Centering Accuracy

±0.1mm

Rotating Accuracy

±0.1deg

Wafer Holding

Vacuum Chuck

Weight

Approx. 6kg