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특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ 전용 CCD Sensor를 이용한 Wafer 정렬
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
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주요사양
Wafer
Size
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200mm
& 300mm
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Detect
Sensor
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Line
CCD Sensor
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Eccentricity
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Within
±5mm
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Centering
Accuracy
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±0.1mm
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Rotating
Accuracy
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±0.1deg
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Wafer
Holding
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Vacuum Chuck
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Weight
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Approx.
6kg
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