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특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한
사이즈 구현
▶ 다양한 조합의 핸드
구성
▶ 표준테이블을 통한
설계편의성 제공
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
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주요사양
D.O.F
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4
Axis (Single Arm)
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Rotating
Dia.
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Φ600mm
(Standard Type)
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Repeatability
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±0.1mm
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Wafer
Size
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300mm
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Gripper
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Edge
Grip / Vacuum Grip / Pocket Grip
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Sensor
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Wafer
Presence Detection Sensor
Wafer
Abnormal Settling Detection Sensor
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Weight
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Approx.
640kg
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