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■ 특장점
▶ 구조해석을 통한 고강성 설계
▶ 설계 최적화를 통해 컴팩트한 사이즈 구현 ▶ Fiber Sensor를 이용하여 Wafer Notch 정렬
▶ 고객 Needs에 따른 특주 대응 가능
■ 주요사양
Wafer Size
300mm
Detect Sensor
Fiber Sensor (Notch Detect)
Centering Accuracy
±0.1mm
Rotating Accuracy
±0.1deg
Wafer Holding
Edge Grip
Weight
Approx. 7kg