A Reliable Partner for Your Business

[ UAE-12-A ] UAE-12-A

■  특장점 

 

           ▶  구조해석을 통한 고강성 설계

           ▶  설계 최적화를 통해 컴팩트한 사이즈 구현
           ▶ 
Fiber Sensor를 이용하여 Wafer Notch 정렬

           ▶  고객 Needs에 따른 특주 대응 가능


 

■  주요사양

 

Wafer Size

300mm

Detect Sensor

Fiber Sensor (Notch Detect)

Centering Accuracy

±0.1mm

Rotating Accuracy

±0.1deg

Wafer Holding

Edge Grip

Weight

Approx. 7kg